本站消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权道正网 ，专利名为“一种晶圆清洗装置”，专利申请号为CN202210971268.4，授权日为2025年6月13日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括：槽体；支撑组件，位于所述槽体中，其为转动件，用于竖向支撑并带动待清洗晶圆旋转；清洗刷，水平设置并绕其轴线滚动；清洁件，位于所述槽体中，用于朝向转动件喷射流体，以移除积聚于转动件的颗粒物；所述清洁件的喷射方向与待清洗晶圆的旋转方向相匹配。
今年以来华海清科新获得专利授权43个，较去年同期增加了138.89%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。
数据来源：天眼查APP
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